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ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-基本型 11系列

量程0-100 SCCM到0-250 SLPM,量程可控比0.01%-100%,低價位,響應(yīng)時間100 ms,精度優(yōu)于1%

美國ALICAT 11系列基本型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準工況進行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的11系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量。采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校,可達到優(yōu)于100 ms的控制速度,并保持優(yōu)越的穩(wěn)定性。

應(yīng)用及案例


● 大學(xué)/研究所                                         ● 環(huán)境監(jiān)測     

● 真空鍍膜                                              ● 工業(yè)爐窯    

● 半導(dǎo)體                                                 ● 汽車制造    

● 光伏                                                    ● 燃料電池    

● 計量                                                    ● 過程工藝氣體測量


產(chǎn)品特色



● 低價位產(chǎn)品

● 標(biāo)配模擬和數(shù)字信號

● 量程可控比0.01%-100%

● 響應(yīng)時間快 僅需100ms(可調(diào))



技術(shù)指標(biāo)


介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了 98 種氣體,請參考背面,一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇

量       程    從0-100 SCCM 到 0-250 SLPM(詳情請咨詢)

測量和控制范圍    0.01~100% 滿量程

最大顯示流量    102.4%FS

精       度    ± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-滿量程

重  復(fù) 性    ±(0.2% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程)

零點&滿量程溫度漂移:    0.02% FS / ℃ (從25 ℃開始)

零點&滿量程壓力漂移:    ±(0.08% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程)(從校準壓力開始)

預(yù)熱時間   <1s

響應(yīng)時間    100 ms(可調(diào))

默認標(biāo)況(STP)    25 ℃ & 1Atm(其它標(biāo)況可調(diào))

工作溫度    -10 ~ +60 ℃

工作濕度    0 - 95%,無冷凝

上限工作壓力    1 MPa 表壓

極限耐壓    1.1 MPa 表壓

下限操作壓力    建議在絕壓 80 KPa 以上使用(其他請咨詢)

模擬輸入/輸出信號   0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

數(shù)字輸入/輸出信號   RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)

供電電壓    12-24VDC (如選4-20 mA輸出,須為15-24 VDC)供電電流    250 mA,1 A(詳情咨詢)額外加40 mA(選4 - 20 mA)

電氣接口    DB9M

材       質(zhì)    302、303、304、316L、430FR 不銹鋼、 FKM氟橡膠、 陶瓷、             

                  銅、玻璃、金、環(huán)氧樹脂、硅橡膠、 聚酰胺、硅

安裝方式    對位置無要求 

防護等級    IP40



選項配件

1


安裝手冊

稍后更新


機構(gòu)認證

即將更新


尺寸詳圖

1



產(chǎn)品大圖

即將更新


型號列表

即將更新


氣體編碼


氣體編號列表.png